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半導體奈米技術 = Nanometer technologies for semiconductors

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001

239451

008

070906s2006 ch 000 u chi d

005		20170901104503.0
020		\|a9571144932\|q(精裝) : \|cNT$1,200
040		\|aTWNTU\|bchi\|cTWNTU\|eCCR, CCR\|dTWNTU
041	0	\|achi
084		\|a469.95\|b0103 \|2ncsclt
095		\|a臺東大學\|bG\|cC114961\|d469.95\|e0103\|tCCL\|m1200\|pBOOK\|fSSJJ\|zBOOK
095		\|a臺東大學\|bG\|cC116299\|d469.95\|e0103\|tCCL\|m1200\|pBOOK\|kc.2\|fCHIPPER\|zBOOK
100	1	\|a龍文安
245	10	\|a半導體奈米技術 = \|bNanometer technologies for semiconductors / \|c龍文安著
246	1	\|aNanometer technologies for semiconductors.
250		\|a二版
260		\|a臺北市 : \|b五南, \|c2006[民95]
300		\|a991面 : \|b圖 ; \|c27公分
490	1	\|a半導體系列叢書
500		\|a含參考書目及索引
650	7	\|a縮影 \|2csht
650	7	\|a奈米技術 \|2csht
809		\|d469.95\|e0103\|tCCL\|pBOOK

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　　半導體製程已進入奈米線幅，而廣義微影技術為半導體製程之核心，惜國內尚無中文微影技術專書，因此決定教研之餘撰寫本書，以彌補此缺憾與空白，並為推動科技中文化，略盡個人棉薄。

　　本書重點在微影技術原理與概念之說明，而不在生產線上實務細節之描述。內容包括微影技術全部重要內涵，例如微影製程、微影光學、主要微影方法、其他微影方法、圖罩與圖規、阻劑、解像度增進技術、銅互連線、化學機械研磨、電漿蝕刻與光學微影模擬。基於多年在交通大學應用化學研究所之教學經驗，本書亦包含瞭解微影技術必要之矽製程背景知識與基礎光學。

　　末來數年，半導體量產線幅當推進至45-32-22奈米技術節點，光學微影製程之難度日益增加，對製程工程師之挑戰亦日益升高。本書對相關領域讀者應有所助益與參閱價值。

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龍文安

現職：國立交通大學應用化學系暨研究所教授

學歷：美國杜蘭大學化學博士

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